在所有的伺服系統(tǒng)中(包括電伺服、液壓伺服、氣動伺服、電液壓伺服、氣液壓伺服、浮球液位計等)，電液伺服系統(tǒng)的質量最高，品質最好。原因是它集中了電氣輸入訊號和反坡訊號的靈活性、快速性和液壓執(zhí)行元件(液壓馬達、油缸)的小慣量等優(yōu)點，使電液伺服系統(tǒng)能達到的精度和快速性為最高。特別是系統(tǒng)為大功率時，這個優(yōu)點更為突出。
電液伺服系統(tǒng)雖然具有上述優(yōu)越性，但是在發(fā)展這種系統(tǒng)時碰到的一個困難是電和液壓之間的轉換元件—電液伺服閥是比較復雜的，從而限制了電液伺服系統(tǒng)發(fā)展的進程。在國外，一九四0年年底，首先在飛機上出現(xiàn)了電液伺服系統(tǒng)，以提高伺服系統(tǒng)的精度和快速性。但在那種磁翻板液位計系統(tǒng)中，滑閥是由一個伺服電機拖動的，而電機的慣性又往往是整個閉環(huán)系統(tǒng)中最慢的環(huán)節(jié)。直到五十年代初，出現(xiàn)了快速反應的永磁力矩馬達，才形成電液伺服閱的雛形。五十年代末，又出現(xiàn)了噴嘴擋板閥做第一級的伺服閥，進一步提高了電液伺服閥的快速性。六十年代又解決了油液中金屬小顆粒被吸附在磁氣隙中的難題—干式力矩馬達出現(xiàn)。電液伺服閥廣泛地用于工業(yè)中，在各資本主義國家也僅僅是幾年以前的事情。由于電液伺服閥集中了電、磁、機械、液壓的矛盾，所以制造和調試比較困難。
我國人民遵循毛主席的“獨立自主，自力更生”的教導，在六十年代中迎頭趕_L，研究并試制成功了DY系列電液伺服閥。在此基礎上。我所于一九七二年又試制成功并投入生產(chǎn)了自行設計的QDY系列電液伺服閥。其性能指標已進入世界優(yōu)秀電液伺服閥的行列。
機械位置反饋式結構的第一級閥套是可以滑動的，它和主閥級是以剛性杠桿相連。機械力反懊式的閥套是固定的，主閥芯和第一級閥芯用彈性元件相連。假如第一級是噴嘴擋板閥，則主閥芯和擋板用彈性元件相連。機械力反饋的閥輸出量線性最好，受供油壓力和加速度影響最小。在電氣反饋式結構中，主閥的位置用直線式差動變壓器或其他位移傳感器反懊到閥外的放大器線路上去。由于放大器增益很容易調節(jié)，在某些系統(tǒng)中，或大流量閥中往往采用這種反饋形式。直接反饋式結構中，主閥的動作和擋板一致，即主閥是跟隨擋板動作的，所以也叫液壓跟隨器。位置比例式結構中，閥芯的位置由它兩端的壓差和彈簧力平衡而定，這種閥的流量特性的線性度最差。這五種結構中，以機械位置反饋和擴散硅壓力變送器位置比例式發(fā)展最早，但是后來發(fā)展的機械力反饋式和直接反憤式逐漸淘汰了上述兩種結構。原因是后兩種結構都比較簡單，性能穩(wěn)定，動態(tài)品質優(yōu)良。美國PEGASUS公司生產(chǎn)的是直接反饋式。MOOG公司生產(chǎn)的是機械力反恢式。
第四種分類法是按力矩馬達是否浸泡在油中而分的。濕式是老式的閥，缺點是力矩馬達浸抱在油中，使油中的鐵粉(髻如說機件磨損產(chǎn)生鐵粉)逐漸吸附在力矩馬達的磁氣隙中而使零點變動。干式閥是閥的前半部不受油液污染的影響，是保證長期使用時性能穩(wěn)定性的途徑。
上述的分類法當然遠不能包括所有流量計結構，例如力矩馬達又可分為直線式和旋轉式的，雙噴嘴閥又可分為對稱式和并列式的等，在此就不再一一細分了。
從上面的閥的分類也可以看出現(xiàn)代電液伺服閥的結構概況。為了便于比較和參考，現(xiàn)將我所生產(chǎn)的QDY伺服閥和世界各國具有代表性的閥的性能列于表2。從表中可以看出，我國生產(chǎn)的電液伺服閥性能居于優(yōu)秀者之列。動態(tài)指標高，而且解決了最難于控制的溫度零點飄移問題。
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